无尘室是污染控制的基础，是一间具备了空气过滤、分配、优化、构造材料和装置的房间。在无尘室极高的硅晶片制造链中，必须是一个无污染源的环境、超洁净的车间，硅晶片零件才能够正常批量生产 我国的无尘室发展起步与国外相比较晚，近二十年来，随着越来越多外企在国内开办或合资开办企业，一些高新技术对生产环境的要求提高，为了提升竞争力，各个行业也开始追求无尘室的质量。正确、合理的设计是保证无尘室稳定运行的